電磁屏蔽有兩類方案，被動(dòng)屏蔽和主動(dòng)屏蔽。被動(dòng)屏蔽是用六面金屬板覆蓋所有墻面、天花板和地板，使整個(gè)房間處于導(dǎo)體盒子中。主動(dòng)屏蔽是在設(shè)備周圍架設(shè)導(dǎo)線框架，并實(shí)時(shí)監(jiān)測外來電磁場，然后同步調(diào)節(jié)導(dǎo)線框架中的電流，產(chǎn)生與外來磁場相反的磁場，抵消外來干擾，實(shí)現(xiàn)電磁屏蔽。

　　電鏡屏蔽利用主動(dòng)消磁設(shè)備產(chǎn)生和設(shè)置室雜散磁場相反相位的磁場，從而達(dá)到消除雜散磁場的目的。具體的是由磁場控制單元、一兩個(gè)交流或直流磁場傳感器以及裝在待消磁房間里的三根多芯電纜（三維空間線圈）組成，是一種三維的交直流磁場補(bǔ)償系統(tǒng)。傳感器測量空間環(huán)境中交直流磁場及其變化量，磁場控制單元以實(shí)時(shí)負(fù)反饋環(huán)路控制方式調(diào)節(jié)三個(gè)線圈中的電流來創(chuàng)建一個(gè)與環(huán)境磁場變化相反的磁場信號(hào)，抵消環(huán)境磁場給電子束設(shè)備帶來的影響，恢復(fù)設(shè)備應(yīng)有的分辨率和精度。

　　這是一個(gè)動(dòng)態(tài)系統(tǒng),對(duì)磁場躍變自動(dòng)響應(yīng)的速度在100微秒以內(nèi)。市電（50/60 Hz）頻率的交流背景磁場可被消除至75分之一；直流背景磁場可被消除至200分之一。